Kazdý národ i stát vědu potřebuje. Ten, který ji nerozvíjí, se stává kolonií.
F. Joliot-Curie
|
|
Kazdý národ i stát vědu potřebuje. Ten, který ji nerozvíjí, se stává kolonií. F. Joliot-Curie
|
|
|
|
| Tenké
vrstvy se již řadu let používají k povrchovým úpravám různých substrátů.
K jejich depozici byly postupně vyvinuty různé technologie, které se dají
velmi zhruba rozdělit do dvou velkých skupin, a to na metody PVD (physical
vapour deposition) a na metody CVD (chemical vapour deposition). Dnes existují
široké možnosti použití tenkých vrstev například v elektrotechnickém průmyslu,
strojírenství, energetice, dekorační technice atd. Například velmi tvrdé
vrstvy TiNx , TiAlNx a C-diamant se nanášejí na řezné
nástroje (vrtáky, frézky, pilky), což až několikanásobně zvyšuje jejich
život. Optické vrstvy se používají například k antireflexnímu pokrytí čoček,
na interferenční filtry a k nanesení reflexních vrstev na zrcadla. Kovovými
vrstvami (Al, Au, Cu) se tvoří například kontakty na polovodičích a Schottkyho
bariéry.
Pro své aplikace jsou velmi zajímavé i tenké vrstvy průhledné ve viditelné oblasti spektra a přitom elektricky vodivé (In2O3, SnO2, ZnO, In2O3:Sn). Lze je použít k povrchové úpravě skla či průhledných fólií jako odporové vrstvy sloužící k vyhřívání Jouleovym teplem, ke svádění nežádoucích elektrostatických nábojů z nevodivých povrchů, či jako transparentní elektrody k plochým zobrazovacím prvkům a k solárním článkům. Protože jsou elektricky vodivé, mají relativně vysokou koncentraci volných elektronů, což podle teorie plazmatu v pevné fázi způsobuje vysokou odrazivost v infračervené oblasti spektra. Dají se tedy použít i jako infračervená zrcadla vhodná například k opláštění budov a skleníků. Důležitou aplikací těchto vrstev jsou kvalitní přední elektrody v plochých displejích, přes které musí být vidět zobrazovaná informace. Takové transparentní elektrody se používají v plochých zobrazovacích prvcích založených na principu kapalných krystalů (LCD), plazmatu (PD) nebo elektroluminiscence (ELD) například v digitálních hodinkách, kalkulačkách, monitorech počítačů, měřicích přístrojích, hracích automatech atd. |
|
|
Zařízení na depozici tenkých vrstev metodou reaktivního magnetronového naprašování |
Zařízení na depozici tenkých vrstev metodou vakuového napařování |
Vakuová technika je důležitá součást všech zařízení na depozici tenkých vrstev metodami PVD a CVD. |
Zařízení na depozici tenkých vrstev metodou reaktivního magnetronového naprašování |
Zařízení na depozici tenkých vrstev metodou reaktivního magnetronového naprašování |
Roentgen na strukturní analýzu tenkých vrstev |
